Reaktiv magnetronli purkash - bu koʻp qatlamli qoplamada yuqori qatlam yoki oraliq qatlam sifatida keng qatlamli substratlargayupqa birikma qatlamni yotqizishningyetilgan usuli. “Yupqa” doirasi bir necha nanometrdan bir necha mikrometrgacha.
Nega magnetron otilib chiqadi?
Magnetronning püskürtülmesi bu tushgan zarralar va nishonlar oʻrtasidagi toʻqnashuv jarayonidir … Magnetronning püskürtülmesi maqsadli katod yuzasiga magnit maydonni kiritish va cheklovlardan foydalanish orqali plazma zichligini oshiradi. chayqalish tezligini oshirish uchun zaryadlangan zarrachalardagi magnit maydon.
Reaktiv purkash deganda nima tushuniladi?
Reaktiv purkash - bu plazmaga reaktiv gaz (odatda kislorod yoki azot) kiritish orqali birikmalarni yotqizish imkonini beruvchi jarayon odatda inert gazdan hosil boʻladi. argon (eng keng tarqalgan), ksenon yoki kripton.
Magnetron purkagich qanday ishlaydi?
Magnetronli purkash - bu hosil bo'ladigan va yotqiziladigan material - "maqsad" bo'lgan bo'shliq bilan chegaralanadigan gazsimon plazmani o'z ichiga olgan cho'kish texnologiyasi. … Bu toʻqnashuvlar elektrostatik itarilishga sabab boʻladi, bu esa ionlanishni keltirib chiqaradigan gaz atomlaridan elektronlarni “uyib tashlaydi”.
Nima uchun radio chastotasi tarqaladi?
RF yoki Radiochastota purkash bu tokining elektr potentsialini vakuum muhitida radiochastotalarda oʻzgartirish bilan bogʻliq boʻlgan texnikadir, bu esa maʼlum turdagi sochuvchi maqsadli materiallarda zaryad hosil boʻlishini oldini oladi, bu vaqt o'tishi bilan tomchilarni chiqaradigan plazmaga yoy bo'lishiga olib kelishi mumkin …
